SOGEVAC 機(jī)組的典型應(yīng)用領(lǐng)域包括工業(yè)、研究和化學(xué)。其中重點(diǎn)是金屬生產(chǎn)和加工、干燥和脫氣、熱處理、太陽(yáng)能部件和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中的鍍膜以及表面細(xì)化等工藝。SOGEVAC 機(jī)組還可用作高真空系統(tǒng)的前級(jí)泵組，與擴(kuò)散泵、渦輪分子泵和低溫泵結(jié)合使用。

在常見(jiàn)的真空爐工藝中，例如硬化、退火、硬釬焊、熔化和鑄造，通常優(yōu)選使用油封或干式壓縮標(biāo)準(zhǔn)真空泵系統(tǒng)。油封系統(tǒng)由羅茨真空泵與單級(jí)或雙級(jí)旋片組合而成。